提高流量稳定性的源瓶装置

专利摘要:
本实用新型涉及一种提高流量稳定性的源瓶装置,包括：液态源瓶，所述液态源瓶上设有进气管道和出气管道，所述进气管道伸入所述液态源瓶腔体底部，所述出气管道伸入所述液态源瓶腔体顶部；保温装置，所述液态源瓶设置在所述保温装置内；设备主机，所述出气管道通过连接折弯管道与所述设备主机相连。本实用新型有利于提高对每一循环通源量的精准控制，对效率良率提升均有积极作用。
公开号:CN214332299U
申请号:CN202022763527.3U
申请日:2020-11-25
公开日:2021-10-01
发明作者:闫彩龙；赵赞良；聂大小；杨明明
申请人:Ningxia Longi Solar Technology Co Ltd；
IPC主号:F17C3-02

专利说明:
[n0001] 本实用新型涉及太阳能电池的技术领域，尤其是指一种提高流量稳定性的源瓶装置。
[n0002] 目前晶体硅太阳能电池在整个太阳电池产业中占据着90％以上的市场份额，而且其成本和价格一直在大规模下降，表明该种太阳电池仍具有强劲的竞争力。P型衬底的硅太阳能电池在整个行业中占绝大部分。在晶体硅太阳能电池生产环节中，PN结的制备是整个产业的核心工序。当前制备PN结的最主要方法是合金法、离子注入法，热扩散法等，其中量产车间基本采用低压管式热扩散法，本法具有产量大、均匀性好，成本低等优点，而采用液态源扩散法具有生产效率高，得到的PN结均匀、平整和扩散层表面良好的优点，这对于制作具有大面积结的太阳电池是非常重要的。液态源的连接方式对制造PN有重大影响，目前基本采用恒温槽保存液态源，恒温槽保持液态源温度恒定20℃，液态源通过管道连接到石英炉管内，通过控制管道阀门状态实现氮气携带液态源的通断。液态源瓶的通路方式对携带源的量有较大影响，携带源的精度直接影响晶体硅的方块电阻的稳定性。
[n0003] 如图1所示，行业内的液态源瓶10上设有进气管道11和出气管道12，所述进气管道11伸入所述液态源瓶10腔体底部，所述出气管道12伸入所述液态源瓶10腔体顶部，所述液态源瓶10与出气管道12之间形成的角度通常呈90°角，通源结束后在出气口部分极易产生积液，且无法回流至液态源瓶10中，因此会对下一循环通源量的精度有较大影响，不利于控制方块电阻的稳定性。
[n0004] 为此，本实用新型所要解决的技术问题在于克服现有技术中影响磷源精度，导致不利于控制方块电阻稳定性的问题，从而提供一种避免影响磷源精度以及有利于控制方块电阻稳定性的提高流量稳定性的源瓶装置。
[n0005] 为解决上述技术问题，本实用新型的一种提高流量稳定性的源瓶装置，包括：液态源瓶，所述液态源瓶上设有进气管道和出气管道，所述进气管道伸入所述液态源瓶腔体底部，所述出气管道伸入所述液态源瓶腔体顶部；保温装置，所述液态源瓶设置在所述保温装置内；设备主机，所述出气管道通过连接折弯管道与所述设备主机相连。
[n0006] 在本实用新型的一个实施例中，所述连接折弯管道包括与所述出气管道相连的第一管道、与所述第一管道相连的弯折管道以及与所述弯折管道相连的第二管道，所述第二管道与所述设备主机相连。
[n0007] 在本实用新型的一个实施例中，所述第一管道中位于所述保温装置内的部分呈竖直状。
[n0008] 在本实用新型的一个实施例中，所述弯折管道位于所述保温装置的上方，且从所述出气管道到所述设备主机的方向逐步上升。
[n0009] 在本实用新型的一个实施例中，所述第二管道呈水平状。
[n0010] 在本实用新型的一个实施例中，所述第二管道连接至所述设备主机的顶端。
[n0011] 在本实用新型的一个实施例中，所述出气管道的延伸方向垂直于所述液态源瓶的瓶口所在的平面。
[n0012] 在本实用新型的一个实施例中，所述进气管道的入口处设有进气阀门。
[n0013] 在本实用新型的一个实施例中，所述出气管道的出口上设有出气阀门。
[n0014] 在本实用新型的一个实施例中，所述保温装置的温度为20±0.1℃。
[n0015] 本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：
[n0016] 本实用新型所述的提高流量稳定性的源瓶装置，包括：液态源瓶，所述液态源瓶上设有进气管道和出气管道，所述进气管道伸入所述液态源瓶腔体底部，从而可以将气体输送至所述液态源瓶内，所述出气管道伸入所述液态源瓶腔体顶部，从而可以将气体由所述出气管道排出；保温装置，所述液态源瓶设置在所述保温装置内，通过所述保温装置可以保证温度在指定范围内，有利于控制扩散的稳定性；设备主机，所述出气管道通过连接折弯管道与所述设备主机相连，由于所述连接折弯管道会产生一个斜坡，在通气结束后产生冷凝积液会在重力作用下回流到液态源瓶中，从而可以克服在液态源瓶出口位置出现的冷凝积液现象，使扩散方阻稳定性有显著提升，提高对每一循环通源量的精准控制，更有利于与后道工序的匹配，对效率良率提升均有积极作用。
[n0017] 为了使本实用新型的内容更容易被清楚的理解，下面根据本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中
[n0018] 图1是现有源瓶装置的示意图；
[n0019] 图2是本实用新型提高流量稳定性的源瓶装置的示意图；
[n0020] 图3是图2中的局部放大图；
[n0021] 图4是现有源瓶装置和本申请源瓶装置的方阻数据箱线图的对比图。
[n0022] 说明书附图标记说明：10-液态源瓶，11-进气管道，12-出气管道，13-进气阀门，14-出气阀门，20-保温装置，30-设备主机，40-连接折弯管道，41-第一管道，42-弯折管道，43-第二管道。
[n0023] 如图2和图3所示，本实施例提供一种提高流量稳定性的源瓶装置，包括：液态源瓶10，所述液态源瓶10上设有进气管道11和出气管道12，所述进气管道11伸入所述液态源瓶10腔体底部，所述出气管道12伸入所述液态源瓶10腔体顶部；保温装置20，所述液态源瓶10设置在所述保温装置20内；设备主机30，所述出气管道12通过连接折弯管道40与所述设备主机30相连。
[n0024] 本实施例所述提高流量稳定性的源瓶装置，包括：液态源瓶10，所述液态源瓶10上设有进气管道11和出气管道12，所述进气管道11伸入所述液态源瓶10腔体底部，从而可以将气体输送至所述液态源瓶10内，所述出气管道12伸入所述液态源瓶10腔体顶部，从而可以将气体由所述出气管道12排出；保温装置20，所述液态源瓶10设置在所述保温装置20内，通过所述保温装置20可以保证温度在指定范围内，有利于控制扩散的稳定性；设备主机30，所述出气管道12通过连接折弯管道40与所述设备主机30相连，由于所述连接折弯管道40会产生一个斜坡，在通气结束后产生冷凝积液会在重力作用下回流到液态源瓶10中，从而可以克服在液态源瓶10出口位置出现的冷凝积液现象，使扩散方阻稳定性有显著提升，提高对每一循环通源量的精准控制，更有利于与后道工序的匹配，对效率良率提升均有积极作用。
[n0025] 所述连接折弯管道40包括与所述出气管道12相连的第一管道41、与所述第一管道41相连的弯折管道42以及与所述弯折管道42相连的第二管道43，所述第二管道43与所述设备主机30相连，从而使整个所述连接折弯管道40形成一个斜坡，从而在出气口位置避免发生冷凝产生积液。
[n0026] 所述第一管道41中位于所述保温装置20内的部分呈竖直状，从而有利于在通气结束后产生冷凝积液会在重力作用下回流到液态源瓶10中。
[n0027] 所述弯折管道42位于所述保温装置20的上方，且从所述出气管道12到所述设备主机30的方向逐步上升，从而有利于凝积液的回流。
[n0028] 所述第二管道43呈水平状，从而有利于将从所述液态源瓶10排出的气体输送至所述设备主机30内。
[n0029] 所述第二管道43连接至所述设备主机30的顶端。
[n0030] 所述出气管道12的延伸方向垂直于所述液态源瓶10的瓶口所在的平面，从而可以保证在通气结束后产生冷凝积液会在重力作用下回流到液态源瓶10中。
[n0031] 所述进气管道11的入口处设有进气阀门13，通过所述进气阀门13可以控制进入所述液态源瓶10的量。
[n0032] 所述出气管道12的出口上设有出气阀门14，通过所述出气阀门14可以控制流出所述液态源瓶10的量。
[n0033] 所述保温装置20的温度为20±0.1℃，从而有利于将液态源维持在恒定的温度，提高控制扩散的稳定性。
[n0034] 如图4所示，是现有源瓶装置和本申请源瓶装置的方阻数据箱线图的对比图，从图中可以明显看出：本申请源瓶装置的方阻分布范围更集中。
[n0035] 显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

权利要求:
Claims (8)
[0001] 1.一种提高流量稳定性的源瓶装置，其特征在于，包括：
液态源瓶，所述液态源瓶上设有进气管道和出气管道，所述进气管道伸入所述液态源瓶腔体底部，所述出气管道伸入所述液态源瓶腔体顶部；
保温装置，所述液态源瓶设置在所述保温装置内；
设备主机，所述出气管道通过连接折弯管道与所述设备主机相连，所述连接折弯管道包括与所述出气管道相连的第一管道、与所述第一管道相连的弯折管道以及与所述弯折管道相连的第二管道，所述第二管道与所述设备主机相连，所述第一管道中位于所述保温装置内的部分呈竖直状。
[0002] 2.根据权利要求1所述的提高流量稳定性的源瓶装置，其特征在于：所述弯折管道位于所述保温装置的上方，且从所述出气管道到所述设备主机的方向逐步上升。
[0003] 3.根据权利要求1所述的提高流量稳定性的源瓶装置，其特征在于：所述第二管道呈水平状。
[0004] 4.根据权利要求3所述的提高流量稳定性的源瓶装置，其特征在于：所述第二管道连接至所述设备主机的顶端。
[0005] 5.根据权利要求1所述的提高流量稳定性的源瓶装置，其特征在于：所述出气管道的延伸方向垂直于所述液态源瓶的瓶口所在的平面。
[0006] 6.根据权利要求1所述的提高流量稳定性的源瓶装置，其特征在于：所述进气管道的入口处设有进气阀门。
[0007] 7.根据权利要求1所述的提高流量稳定性的源瓶装置，其特征在于：所述出气管道的出口上设有出气阀门。
[0008] 8.根据权利要求1所述的提高流量稳定性的源瓶装置，其特征在于：所述保温装置的温度为20±0.1℃。

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同族专利:

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公开号 | 公开日

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引用文献:

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公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题

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法律状态:
2021-10-01| GR01| Patent grant|

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2021-10-01| GR01| Patent grant|

优先权:

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申请号 | 申请日 | 专利标题

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CN202022763527.3U|CN214332299U|2020-11-25|2020-11-25|提高流量稳定性的源瓶装置|CN202022763527.3U| CN214332299U|2020-11-25|2020-11-25|提高流量稳定性的源瓶装置|